Вивчення використання УЗ хвиль для очищення оксидних плівок

Abstract

Проведено ультразвукового очищення від оксидних плівок оптичних та електронних виробів. Визначена основна методика очищення. Проведено математичне моделювання процесу поширення УЗ в ванні для очищення виробів, отримана об'ємна картина розподілу УЗ-тиску в ванні. В результаті моделювання визначено області найбільшого акустичного тиску, розташовані на відстанях від площини випромінювання, кратних nλ / 4, де виникають вихрові макро- і мікропотоки (шліхтінговского або релєєвського типу), які інтенсифікують процеси масо переносу і розчинення забруднень. Залежність нерівномірності розподілу кавітаційного тиску по площі ванн від співвідношення відстані до низу до довжини хвилі та тиску по площині ванни. В роботі проведено аналіз умов праці при роботі з УЗ.